武鳴無(wú)菌室凈化無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定,在滿(mǎn)足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,專(zhuān)業(yè)無(wú)菌室凈化這種車(chē)間不宜超越25度。 濕渡過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
按照武鳴無(wú)菌室凈化潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。2)無(wú)菌室凈化設(shè)計(jì)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于 10Pa。3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于 5 級(jí)(100 級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí),門(mén)內(nèi) 0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。
專(zhuān)業(yè)無(wú)菌室凈化無(wú)塵車(chē)間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)菌室凈化設(shè)計(jì)無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。
咱們有必要在規(guī)劃和選用資料時(shí)就選用不易發(fā)作靜電,或發(fā)作靜電能敏捷泄漏的資料。專(zhuān)業(yè)無(wú)菌室凈化在以往的規(guī)劃中咱們?yōu)榱耸轨o電電荷有敏捷逃逸的通路,通常只重視對(duì)地板的效果,即選用防靜電地板來(lái)消除靜電。并且只把體系電阻值約束在105—108歐姆之間來(lái)作為衡量防靜電的規(guī)范,如今看來(lái)是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。如今歐美、日本等國(guó)家在規(guī)劃潔凈室時(shí)現(xiàn)已不局限于防靜電地板了,對(duì)武鳴無(wú)菌室凈化潔凈室間隔、墻面及潔凈的構(gòu)造體系等都思考在內(nèi)。如今在規(guī)劃時(shí)咱們也會(huì)充沛思考到防靜電的請(qǐng)求,如選用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來(lái)作為輔佐辦法或彌補(bǔ)辦法來(lái)戰(zhàn)勝靜電。使?jié)崈羰也话l(fā)作或少發(fā)作靜電。
手術(shù)室凈化是一項(xiàng)比較復(fù)雜的系統(tǒng)工程,但是在專(zhuān)業(yè)無(wú)菌室凈化手術(shù)室凈化在使用之后,手術(shù)室內(nèi)的空氣能夠達(dá)到潔凈無(wú)污染的狀態(tài),我們要怎樣進(jìn)行保養(yǎng)呢。1、武鳴專(zhuān)業(yè)無(wú)菌室凈化手術(shù)室凈化工程的高效過(guò)濾器更換完畢后需確認(rèn)邊框無(wú)滲漏現(xiàn)象,并用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),達(dá)到技術(shù)指標(biāo)后方可進(jìn)行正常工作。2、定期對(duì)電氣線路進(jìn)行檢修,如有故障可參照電氣原理圖進(jìn)行維修。3、要定期使用儀器測(cè)定設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo),如不符合技術(shù)參數(shù)要求應(yīng)及時(shí)予以處理。4、根據(jù)實(shí)際使用情況,定期將手術(shù)室凈化工程的初效空氣過(guò)濾器中的濾料取下清洗。