按照廣東無塵車間凈化板潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。2)無塵車間凈化板設(shè)計(jì)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于 10Pa。3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于 5 級(jí)(100 級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi) 0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。
廣東無塵車間凈化板設(shè)計(jì)潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。專業(yè)無塵車間凈化板單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得。
1、吊頂需是專為專業(yè)無塵車間凈化板無塵車間工程設(shè)計(jì)的系統(tǒng),以便于安裝簡易快速、堅(jiān)固、美觀。有干、濕兩類。干吊頂用于高效過濾風(fēng)機(jī)系統(tǒng),濕系統(tǒng)用于回風(fēng)空調(diào)箱帶高效過濾風(fēng)口系統(tǒng)。2、濕吊頂須用密封膠密封。3、廣東無塵車間凈化板無塵車間工程中的車間墻為鋁合金板材,拆裝靈活。4、提升地板根據(jù)潔凈等級(jí)對(duì)換氣次數(shù)的要求不同,帶孔板的覆蓋率不同。安裝提升地板時(shí),應(yīng)先確定立柱的定位,用專用膠將柱固定在環(huán)氧地面上,并在膠干后測試其牢固程度。5、所有提升地板內(nèi)管線不可在安裝立柱前施工。
人員凈化用室和生活用室,應(yīng)符合下列要求:①人員專業(yè)無塵車間凈化板凈化用室的入口處,應(yīng)設(shè)凈鞋器。②存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。③外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按編制人數(shù)每人設(shè)一柜。④盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。⑤水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每10人設(shè)置一個(gè)。⑥廣東無塵車間凈化板潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。⑦人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。⑧空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處,并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。⑨單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。⑩當(dāng)僅為100級(jí)垂直層流潔凈室時(shí),可改設(shè)氣閘室。⑩潔凈區(qū)工作人員超過5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。
專業(yè)無塵車間凈化板無塵車間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵車間凈化板設(shè)計(jì)無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
實(shí)驗(yàn)室凈化工程是將實(shí)驗(yàn)室某一區(qū)域開辟出來,專門用于建造有空氣潔凈等級(jí)的、實(shí)驗(yàn)環(huán)境要求相對(duì)較高的實(shí)驗(yàn)室或者無菌室。實(shí)驗(yàn)室凈化工程系統(tǒng)與傳統(tǒng)的專業(yè)無塵車間凈化板設(shè)計(jì)潔凈室系統(tǒng)其實(shí)是大同小異的,只不過實(shí)驗(yàn)室對(duì)潔凈室內(nèi)的壓力、微生物控制及溫濕度控制相對(duì)較工業(yè)潔凈室要嚴(yán)格。常見的實(shí)驗(yàn)室凈化工程裝修材料有夾心彩鋼板、鋼化玻璃、防火板等,專業(yè)無塵車間凈化板潔凈實(shí)驗(yàn)室必須按照《潔凈室施工與驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)》采用可以較好的密封并且不產(chǎn)塵的材料進(jìn)行隔斷、吊頂裝修,潔凈實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)一般采用組合式空調(diào)機(jī)組,其送風(fēng)系統(tǒng)與各業(yè)潔凈室工程不同的地方是,不是所有實(shí)驗(yàn)室都可以設(shè)置回風(fēng)系統(tǒng)的,這需要根據(jù)用戶實(shí)驗(yàn)室的用途以及實(shí)驗(yàn)產(chǎn)品而定。