按照北海層流手術室凈化潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。1)不同級別的潔凈室或潔凈區與非潔凈室(區)之間的靜壓差,應不小于5Pa。2)層流手術室凈化工程潔凈室(區)與室外的靜壓差,不應小于 10Pa。3)對于空氣潔凈度等級嚴于 5 級(100 級)的單向流潔凈室在開門時,門內 0.6m 處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。4)若達不到以上標準的要求,應重新調整新風量、排風量、至合格為止。
北海層流手術室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,優質層流手術室凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
電子廠凈化車間(潔凈室)是優質層流手術室凈化工程潔凈度等級在10萬級尺度以上的潔凈工程車間,首要按捺空氣浮塵微粒對工作上對象的空氣污染,內部必需保持正壓狀態。北海層流手術室凈化電子廠凈化車間合用于電子、微電子、半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等,主要運用在精密儀器、手機背光源、芯片出產、集成電路、磁盤制造車間、顯示屏等行業。
A、北海層流手術室凈化室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內使用。C、優質層流手術室凈化檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學布點,而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區域,采樣點的數目都不得少于2個,總采樣數可根據面積開2次根求得。
北海層流手術室凈化潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,優質層流手術室凈化無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非 常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的 負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
優質層流手術室凈化潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,優質層流手術室凈化工程此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。