在管理無塵凈化車間的過程中，其濕度的控制是非常重要的一個環節，它不僅關系到工作人員的舒適度，也關系到的微生物和細菌的數量，重要的是濕度還對機器設備的工作狀況有著很大的決定作用。

在控制無塵凈化車間內部濕度時，如果對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高，粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。

正常情況下，無塵車間較好的相對濕度應該是控制在30%~45%之間，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內。如果機械設備和生產儀器對濕度的敏感度并不是那么高，那么可以按照人體舒適濕度來控制，人體的舒適濕度則在40%~60%之間，濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。

高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累。較低的濕度比較適合電荷的積累，并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。因此在相對濕度較高的環境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質表面的黏附力。當相對濕度小于50%時并不重要，但當相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。

無塵車間的濕度控制范圍大致就是以上所說的這些，這幾個范圍值已經可以滿足絕大多數行業的應用，比如電子儀器、食品加工、化工生產、制藥等等。